美國(guó)AII GPR-1600UHP ppb超微量氧分析儀在半導(dǎo)體電子工業(yè)高純氣體中的應(yīng)用

關(guān)鍵詞：美國(guó)AII，GPR-1600UHP, ppb,

微量氧分析儀，電子，半導(dǎo)體，氧含量

在半導(dǎo)體等電子工業(yè)中，如成電路芯片廠中所使用的氣體按用量的大小可分為二種，用量較大的稱為大宗氣體（Bulk gas），用量較小的稱為特種氣體（Specialty gas）。大宗氣體有：氮?dú)?、氧氣、氫氣、氬氣和氦氣。其中氮?dú)庠谡麄€(gè)工廠中用量大，依據(jù)不同的需求，又分為普通氮?dú)夂凸に嚨獨(dú)鉃槊恳徊缴a(chǎn)工藝提供所需求的載氣以及電子特種氣體的保障，美國(guó)AII氧分析儀</a>公司的微量氧分析儀常常被用于半導(dǎo)體氣體中的微量氧含量檢測(cè)。

一般來(lái)說在電子級(jí)氣體中的微量水和微量氧含量等雜質(zhì)的要求一般要小于5000-10000ppb,正因?yàn)閷?duì)于氣體如此高的純度要求，為了保障氣體的純度，美國(guó)AII氧分析儀的GPR-1600UHP痕量氧分析儀（超微量氧分析儀）得到了廣泛的使用和。

超微量氧分析儀技術(shù)參數(shù)：

GPR-1600UHP PPB級(jí)氧分析儀是一款在線進(jìn)行分析,應(yīng)用：對(duì)惰性氣體，He，H2，混合氣體及CO2中的氧含量進(jìn)行100ppb1%微量分析

PPb氧分析儀技術(shù)參數(shù)

精度：恒定條件下&lt;1%滿量程

范圍：0-100ppb，0-1、10、100ppmFS；自動(dòng)切換或手動(dòng)

可調(diào)應(yīng)用：對(duì)高純惰性氣體，碳?xì)錃怏w，He，H2中的氧含量進(jìn)行0.5ppb-100ppm分析

認(rèn)證：CE

區(qū)域等級(jí)：普通用途報(bào)警：2路繼電器報(bào)警輸出

標(biāo)定：使用濃度大約為80%量程或更高的經(jīng)過認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)

氣體補(bǔ)償：壓力及溫度補(bǔ)償，可選溫控系統(tǒng)

接口：進(jìn)樣及標(biāo)定口為1/4VCR接頭，出品為1/4 壓緊管接口

控制：量程選擇開關(guān)，鍵，標(biāo)定,報(bào)警及系統(tǒng)功能

數(shù)據(jù)采集：可選數(shù)據(jù)點(diǎn)顯示：5＂2.75＂；

分辨率：0.5ppb；實(shí)時(shí)顯示溫度及壓力安裝

尺寸：鋁材13.9＂9.9＂13.4＂

流量影響：0.5-1.5 L/M,流量:1 L/M 線性：.995*量程

壓力：進(jìn)樣20-50 psig；大150 psig；排空-不超過5水柱的大氣壓

電源：220VAC

適用范圍：

石油化工、電子電力等行業(yè)中高純氧的分析；

空分高純氧監(jiān)測(cè)；

冶煉行業(yè)；

行業(yè)；

微電子、半導(dǎo)體、航天及軍工等領(lǐng)域；

制氫／制氮／C02設(shè)備，凈化／干燥設(shè)備等；

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1）穩(wěn)定的O2分析

Adv公司的GPR-1600UHP級(jí)氧氣變送器/分析儀標(biāo)志著氧氣分析達(dá)到了新的水平。創(chuàng)新設(shè)計(jì)的傳感器結(jié)構(gòu)及外殼、模塊化設(shè)計(jì)的電子器件部分以及的燃料電池（電化學(xué)）傳感器技術(shù)，給予使用者低的花費(fèi)，高的收益。

2）兩線制電源4~20mA回路模擬輸出

GPR-1600UHP提供了一個(gè)通過兩線制9~36V供電回路的4~20mA信號(hào)輸出及兩個(gè)可調(diào)節(jié)的變送器報(bào)警輸出連接。4~20mA輸出可使得外部設(shè)備重現(xiàn)滿量程的氧氣含量讀數(shù)。

3）通用長(zhǎng)壽命傳感器，全量程線形化可進(jìn)行空氣/量程氣校準(zhǔn)

變送器/分析儀的心臟部分是一個(gè)的燃料電池式電化學(xué)傳感器，并以及線形化和設(shè)定。優(yōu)異的傳感器使用性能和，應(yīng)用的正常使用壽命為24個(gè)月。

4）LCD顯示

為了使變送器/分析儀的校準(zhǔn)、現(xiàn)場(chǎng)氧含量讀取更為方便，樣氣中氧O2的濃度讀取是由一個(gè)三位半的LCD顯示器顯示的。